Chipmachinefabrikant ASML gaat een nieuwe strategische samenwerking aan met het vooraanstaande Leuvense research-instituut Imec. De nieuwe overeenkomst van vijf jaar richt zich op nieuwe halfgeleidertechniek en duurzame innovatie.
ASML is en blijft sterk afhankelijk van het Leuvense onderzoekscentrum dat op gebied van nano-elektronica en digitale techniek tot de wereldtop behoort. Beide organisaties wisselen al meer dan dertig jaar kennis en expertise uit. ASML voorziet de Belgen ook van proefopstellingen van de meest geavanceerde systemen zodat ze daarmee ervaring kunnen opdoen. Deze proeflijnen worden uitgebreid en verbeterd.
Zo heeft imec met de geavanceerde NanoIC-proeflijn de mogelijkheid de ontwikkeling en vercommercialisering van de laatste halfgeleidertechnieken te versnellen. Daarbij valt met name te denken aan bepaalde systems-on-chip-toepassingen gebaseerd op logische knooppunten die kleiner zijn dan 2 nm (nanometer).
Meerdere Europese partners waaronder het Duitse Fraunhofer en het Franse CEA-Leti profiteren van deze laagdrempelige toegang tot de modernste apparatuur en Imec’s kennis van nieuwe materialen, processtappen en modules. De NanoIC-proeflijn is toegankelijk voor start-ups, het midden- en kleinbedrijf, universiteiten, ontwerp- en systeembedrijven, chipfabrikanten en bedrijven uit de chip-leveringsketen. Ze kunnen zo al in een vroegtijdig stadium de mogelijkheden verkennen, prototypes maken en testen uitvoeren.
EUV
De nieuwe samenwerking met ASML omvat het volledige productportfolio van de Veldhovense machinebouwer, met een focus op het ontwikkelen van high-end nodes, met behulp van ASML-systemen, waaronder 0,55 NA EUV, 0,33 NA EUV, DUV-immersie, YieldStar optische metrologie en HMI single- en multi-beam technologieën. Deze tools worden geïnstalleerd in de state-of-the-art pilotlijn van imec en opgenomen in de eerdergenoemde NanoIC-pilotlijn.
Focusgebieden voor r&d omvatten ook silicium-fotonica, geheugen en geavanceerde verpakkingen, die volledige innovatie bieden voor toekomstige op halfgeleiders gebaseerde ai-toepassingen in diverse markten. Luc Van den hove, president en ceo bij Imec. ‘De opname van ASML’s volledige productportfolio stelt ons in staat om de mogelijkheden van onze pilotlijn uit te breiden en verder te ontwikkelen, waardoor het volledige halfgeleider-ecosysteem de meest geavanceerde r&d krijgt om de uitdagingen van ai-gestuurde technologische vooruitgang aan te pakken.’
De investering van ASML in het partnerschap wordt aangevuld met Europese (Chips Joint Undertaking), Vlaamse en Nederlandse financiering. Nieuw in de samenwerking is dat ASML ook investeert in onderzoek van Imec dat milieu en maatschappij ten goede komt.
