In het diepste geheim hebben Chinezen een soort replica van ASML’s laatste generatie chipmachine gebouwd. In de hightech-hoofdstad Shenzhen worden testen gedaan met een prototype van een extreem ultraviolette lithografiemachine (EUV) naar Nederlands voorbeeld.
Volgens persbureau Reuters die hier uitvoerig en in details over bericht, is het project het resultaat van kopieerwerk door een team van Chinese ingenieurs die eerder voor ASML werkten. Uiterst vernuftige ‘reverse engineering’ ligt aan de grondslag van dit succes.
De anonieme bronnen van Reuters melden dat de machine in staat is om extreem violet licht te maken. Van goed werkende chips is echter nog geen sprake. Een hindernis is nog het nabouwen van de optische precisie-systemen die ASML-leveranciers zoals Carl Zeiss hebben ontwikkeld. De machine waarmee sinds begin januari testen worden gedaan, is al wel operationeel.
ASML heeft nog niet gereageerd op de jongste berichtgeving. Eerder verwees het hightech-bedrijf uit Veldhoven dergelijke verhalen naar het land der fabelen, met name als het om het klonen van ASML-machines ging. Stellig ontkend werden onlangs nog berichten uit Taiwanese media dat het in China bij de ontmanteling van een ASML-chipmachine van het type DUV (diep ultraviolet) mis was gegaan en dat de reverse engineering tot een defecte machine had geleid. Tegenover Computable stelde een woordvoerster dat het ene onzinverhaal na het andere opdook. ASML-topman Christophe Fouquet zei afgelopen april dat China nog ‘vele, vele jaren’ nodig zou hebben om technisch langszij te komen. Maar Reuters sprak een groot aantal ‘doorgaans goed ingelichte bronnen’ die een ander beeld schetsen.
Achterstand inhalen
Het bestaan van een prototype suggereert volgens Reuters dat China zijn achterstand wel eens sneller kan inhalen dan chipanalisten verwachten. De regering in Beijing heeft zich ten doel gesteld dat al in 2028 goedwerkende chips van de laatste generatie (EUV) uit dit prototype rollen. Reuters sprak ingewijden die 2030 als haalbaar achten. Dat is veel eerder dan het decennium waar analisten eerder van uit waren gegaan.
Reuters vertelt in detail hoe China te werk gaat. Ervaren ingenieurs van Chinese afkomst worden met royale tekenbonussen naar Shenzhen gelokt. Ze krijgen ook een valse id-kaart om identificatie te voorkomen. De hele operatie geldt als ‘top secret’. De werving richt zich vooral op oudgedienden van ASML die vooral bij de reverse-engineering van de machines goed van pas komen. Reuters ontdekte dat China aanmeldbonussen van 420.000 tot 700.000 dollar en tegemoetkomingen voor de aankoop van een woning biedt. Ook Lin Nan, voormalig hoofd van de afdeling lichtbron-technologie van ASML, zou zijn gerecruteerd. ASML zou bij het volgen van ex-medewerkers worden bemoeilijkt door de strenge Nederlandse privacyregels.
Het prototype van de EUV is deels gebaseerd op onderdelen uit oudere ASML-machines. Die zijn via de tweedehands-markt verkrijgbaar. Ook zouden componenten van Nikon en Canon hun weg naar China vinden. In het project speelt Huawei een sleutelrol, aldus Reuters, die hiervoor vier bronnen heeft. Al eerder werd dit techbedrijf in verband gebracht met de ontwikkeling van geavanceerde chipmachines. Het bedrijf is nu betrokken bij zowat de hele ontwikkelingsketen.
