China is begonnen met de productie van zelf ontwikkelde Immersie-DUV-machines die de hegemonie van ASML (98,7 procent marktaandeel) op dit gebied kunnen doorbreken. Volgens de doorgaans goed ingelichte publicatie The Information zouden de Chinezen al zo ver zijn dat de eerste machines al dit jaar kunnen worden afgeleverd.
Gemikt wordt op de productie van een vijftal machines dit jaar. Volgend jaar zou China er al twintig kunnen bouwen. ASML verwacht dit jaar 130 van dit soort systemen te bouwen.
Qua prestaties en het percentage bruikbare chips (yield) zou de Chinese fabrikant nog op ASML achterlopen. Verdere tests zijn vereist voordat de productie verder kan worden opgeschaald.
Vooraanstaande Chinese chipfabrikanten, waaronder SMIC, Hua Hong en ChangXin behoren tot de eerste afnemers. The Information baseert zich daarbij op wel geïnformeerde bronnen. SMIC was eerder een grote klant van ASML De fabrikant uit Veldhoven exporteert DUV-machines op grote schaal naar China. Voor de meer geavanceerde EUV-machines geldt een exportverbod, evenals voor de meest moderne duv-machines.
Onzinverhalen?
ASML onthoudt zich voorlopig van commentaar. Bij eerdere berichten over het klonen van ASML-machines verwees de fabrikant die verhalen naar het land der fabelen. Een woordvoerder beklaagde zich erover dat het ene onzinverhaal na het andere opduikt.
ASML-topman Christophe Fouquet zei afgelopen april dat China nog ‘vele, vele jaren’ nodig zou hebben om technisch langszij te komen. Dat geldt voor EUV en in mindere mate ook voor de DUV-machines die China nu rijp voor productie zou hebben. Als de Chinezen inderdaad zo ver zijn, betekent dat Fouquet zijn concurrenten toch heeft onderschat.
De beurs reageerde met een koersval van 8 procent. De regering Trump wil nog meer typen ASML-machines uitsluiten van export naar China. Maar zo’n handelsbeperking wordt minder effectief als eigen Chinese technologie hun chipfabrikanten een alternatieve bron van kritieke apparatuur kan bieden.
Gevoeligheden
De bronnen die The Information sprak, wilden in verband met gevoeligheden niet de naam van de Chinese chipmachinefabrikant onthullen. Wel is bekend dat het om een door de staat ondersteund bedrijf uit Shanghai gaat. Volgens de bronnen van The Information werken bij het project ontwikkelteams van verschillende Chinese bedrijven samen, waaronder de gesubsidieerde startup Shanghai Yuliangsheng Technology. De meeste componenten in de nieuwe systemen zijn van Chinese makelij, hoewel sommige cruciale onderdelen uit Japan komen.
Immersie-DUV-machines, die circuitpatronen op siliciumwafers printen, zijn de meest geavanceerde lithografietools die Chinese chipfabrikanten beschikbaar hebben nadat handelsbeperkingen de toegang tot extreme ultraviolet lithografie (EUV)-systemen hebben afgesneden.
Reverse engineering
China is goed voor ongeveer 20 procent van de ASML-omzet. Vorig jaar was dat nog 33 procent. Het is overigens niet de eerste keer dat berichten over Chinese imitaties van ASML naar buiten kwamen. Eind 2025 meldde persbureau Reuters dat in Shenzhen een replica van een zeer geavanceerde EUV-machine was gebouwd naar Nederlands voorbeeld. ‘Reverse engineering’ lag daaraan de grondslag. De machine werkte wel, maar kon nog niet op grote schaal betrouwbare chips vervaardigen.
Eerder duidden patentaanvragen van Huawei op de ontwikkeling van een extreme ultraviolette (EUV)-lithografiescanner die procesmatig anders werkt dan ASML doet. Afgelopen mei sprak Huawei de verwachting uit over vijf jaar chips van slechts 1,4 nanometer te kunnen maken, zonder dat het techbedrijf daarvoor de meest geavanceerde EUV van ASML nodig heeft. Telkens weer laat China zien dat het land qua high tech niet klein valt te krijgen. Met het uitlekken van berichten dat de productie van DUV-machines aanstaande is, geeft China invulling aan die strategie.
